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摘 要:本实用新型涉及一种检测机,尤其涉及一种PVD真空镀膜用真空腔检测机。本实用新型提供一种具有过滤装置的PVD真空镀膜用真空腔检测机,包括有机体、电离真空计、进气管、滤框、出气管、滤架和挡板,机体前方设有电离真空计,机体与电离真空计之间设置有滤框,滤框上方连接有进气管,进气管另一端与机体连接,滤框下方连接有出气管,出气管的另一端连接有电离真空计,滤框内部设置有滤架,滤框一侧活动式连接有挡板。通过设置滤架可以过滤气体的细微杂质,将细微杂质吸附在滤架上,保证进入电离真空计电离的气体清洁性,使电离真空计的示数准确性高,达到了可以准确测出数值并且检测密封性的效果。
著 录 项:
专利/申请号: | CN202320276496.X | 专利名称: | 一种PVD真空镀膜用真空腔检测机 |
申请日: | 2023-02-22 | 申请/专利权人 | 厦门世鑫达工贸有限公司 |
专利类型: | 实用新型 | 地址: | 福建省厦门市集美区灌口镇上头亭路203号三楼之二 |
专利状态: | 已下证 查询审查信息 | 分类号: | G01M3/34搜分类 其他搜索 |
公开/公告日: | 2023-06-06 | 转让价格: | 面议 |
公开/公告号: | CN219142166U | 交易状态: | 等待洽谈 搜索相似专利 |
交易方 | 企业 | 个人 |
买家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(签字) |
专利转让委托书(需盖公章)一式两份 | 专利转让委托书(需签字)一式两份 | |
专利转让协议(需盖公章)一式两份 | 专利转让协议(需签字)一式两份 | |
卖家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(需申请人签字) |
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专利转让协议(需盖公章)一式两份 | 专利转让协议(需签字)一式两份 | |
专利请求书或手续合格通知书、授权通知书复印件 | 专利请求书或手续合格通知书、专利授权通知书复印件 | |
专利证原件(若授权下证) | 专利证原件(若授权下证) |
日期 | 法律信息 | 备注 |