实用新型已授权

一种PVD真空镀膜用真空腔检测机

Name: 一种PVD真空镀膜用真空腔检测机
Brand: 厦门世鑫达工贸有限公司
SKU: 202320276496X
Availability: InStock

📄 申请号：CN202320276496.X 📄 发布日：2026/02/22

著录项目信息

申请日

2023-02-22

公开号

CN219142166U

公开日

2023-06-06

申请人

厦门世鑫达工贸有限公司

法律状态

已下证

专利类型

实用新型

主分类号

G01M3_34

IPC 分类号

G01M3_34 , C23C14_56 , C23C14_52 ,

技术画像

所属领域

真空镀膜设备真空镀膜设备真空检测技术泄漏检测

应用场景

PVD镀膜工艺, 真空腔体维护, 半导体制造, 工具涂层, 表面处理

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摘要

本实用新型涉及一种检测机，尤其涉及一种PVD真空镀膜用真空腔检测机。本实用新型提供一种具有过滤装置的PVD真空镀膜用真空腔检测机，包括有机体、电离真空计、进气管、滤框、出气管、滤架和挡板，机体前方设有电离真空计，机体与电离真空计之间设置有滤框，滤框上方连接有进气管，进气管另一端与机体连接，滤框下方连接有出气管，出气管的另一端连接有电离真空计，滤框内部设置有滤架，滤框一侧活动式连接有挡板。通过设置滤架可以过滤气体的细微杂质，将细微杂质吸附在滤架上，保证进入电离真空计电离的气体清洁性，使电离真空计的示数准确性高,达到了可以准确测出数值并且检测密封性的效果。

常见问题

这项专利是否已经下证？

是的，该专利已下证，法律状态为“已下证”，公开号： CN219142166U

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当前标价为议价，可委托平台代购或预约谈判。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

20230606

✅ 授权

数控车床升降装置

当前第 / 件

一种攻丝机平台

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