发明专利 已授权

一种太阳能P型多晶硅片的制作工艺

📄 申请号:CN202011317073.5 📄 发布日:2026/08/04

著录项目信息

申请日
2020-11-23
公开号
CN112359415B
公开日
2022-02-08
申请人
安阳工学院
法律状态
已下证
专利类型
发明
主分类号
IPC 分类号

技术画像

应用场景

太阳能光伏, 光伏发电, 太阳能电池制造, 新能源

摘要

本发明公开了一种太阳能P型多晶硅片的制作工艺,生产工序步骤包括:(1)原料准备;(2)P型硅锭的制备;(3)硅锭的切割开方;(4)硅片的切割和清洗;所用原料包括:纯度6N的原生硅料、循环硅料、掺杂剂镓;所述循环硅料包括循环硅板、循环硅块、循环硅片、循环硅粉。其中的循环硅料在使用前需经过去杂提纯处理,铸锭时在坩埚边缘用循环硅料填充,在坩埚中心用掺杂镓的原生硅料填充,原生硅料中镓的掺杂浓度从坩埚底部到坩埚顶部逐渐减小,顶部镓的浓度为零,然后将装填硅料的坩埚置于微波烧结炉中,在氩气保护下经过升温、保温、降温后出炉,即得到镓掺杂均匀的P型硅锭。本发明充分利用了循环硅料,制备的硅片品质稳定。

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权利要求书 (12项) 说明书 附图

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图1
图2
图3

法律状态时间线

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