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发明专利
已授权
一种单晶硅尺寸测量机
📄 申请号:CN202210670862.X
📄 发布日:2026/08/17
著录项目信息
申请日
2022-06-15
公开号
CN114754714A
公开日
2022-07-15
申请人
常州莫森智能科技有限公司
法律状态
已下证
专利类型
发明
主分类号
G01B21_00
IPC 分类号
G01B21_00
技术画像
所属领域
尺寸测量
尺寸测量
应用场景
半导体材料检测, 硅片加工质量检测, 光伏电池制造, 工业在线测量, 单晶硅生长监控
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摘要
本发明公开了一种单晶硅尺寸测量机,包括底座支架,所述底座支架的上方固定安装有护板,所述护板的一侧设置有检测组件,所述检测组件的外侧设置有检测护板,所述检测护板与护板通过螺栓固定连接,所述检测组件包括至少四个安装板,四个所述安装板上设置有两个处理器,所述处理器的一端安装有距离传感器,所述距离传感器与处理器电连接,所述处理器电连接有处理终端,所述底座支架的上方固定安装有导轨支架,所述导轨支架的上端固定安装有导轨,所述导轨的两侧滑动连接有防水板,所述导轨的上侧滑动连接有工装板,所述工装板与防水板为固定连接,本发明,具有实用性强和具有综合检测功能的特点。
权利要求书 (12项)
说明书
附图
……
……
图1
图2
图3
法律状态时间线
20250718
?? 专利权的转移 :
20220902
✅ 授权
20220802
?? 实质审查的生效 :
20220715
📄 公开
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📋 项目申报:
未申报
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权属尽调
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