发明专利 已授权

一种单晶硅尺寸测量机

📄 申请号:CN202210670862.X 📄 发布日:2026/08/17

著录项目信息

申请日
2022-06-15
公开号
CN114754714A
公开日
2022-07-15
申请人
常州莫森智能科技有限公司
法律状态
已下证
专利类型
发明
主分类号
IPC 分类号

技术画像

所属领域

应用场景

半导体材料检测, 硅片加工质量检测, 光伏电池制造, 工业在线测量, 单晶硅生长监控

摘要

本发明公开了一种单晶硅尺寸测量机,包括底座支架,所述底座支架的上方固定安装有护板,所述护板的一侧设置有检测组件,所述检测组件的外侧设置有检测护板,所述检测护板与护板通过螺栓固定连接,所述检测组件包括至少四个安装板,四个所述安装板上设置有两个处理器,所述处理器的一端安装有距离传感器,所述距离传感器与处理器电连接,所述处理器电连接有处理终端,所述底座支架的上方固定安装有导轨支架,所述导轨支架的上端固定安装有导轨,所述导轨的两侧滑动连接有防水板,所述导轨的上侧滑动连接有工装板,所述工装板与防水板为固定连接,本发明,具有实用性强和具有综合检测功能的特点。
权利要求书 (12项) 说明书 附图

……

……

图1
图2
图3

法律状态时间线

20250718
?? 专利权的转移 :
20220902
✅ 授权
20220802
?? 实质审查的生效 :
20220715
📄 公开

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📋 交易方式: 委托待转让 📌 交易状态: 在售 👁️ 浏览次数:4 ❤️ 收藏人数:93 📋 项目申报: 未申报

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