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专利详情
实用新型
已授权
真空室密封机构
📄 申请号:CN202022652907.X
📄 发布日:2026/08/25
著录项目信息
申请日
2020-11-16
公开号
CN213744899U
公开日
2021-07-20
申请人
沈阳市裕仁机械设备有限公司
法律状态
已下证
专利类型
实用新型
主分类号
F16J15_10
IPC 分类号
F16J15_10
,
F16J13_02
,
技术画像
所属领域
其他分类
其他
应用场景
半导体制造设备, 真空镀膜设备, 真空炉, 科研实验设备, 光伏制造设备
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摘要
本实用新型公开了真空室密封机构,包括真空室本体,真空室本体的顶部通过螺丝固定连接有密封盖,且密封盖的底部设置有密封圈,密封圈包括基底层,基底层的顶部通过天然橡胶粘接有第一密封层,第一密封层包括硅胶层和氟橡胶层,基底层的底部通过天然橡胶粘接有第二密封层。本实用新型在基底层的顶部通过天然橡胶粘接有第一密封层,第一密封层包括的硅胶层和氟橡胶层都具备使用寿命长的性能,在基底层的底部通过天然橡胶粘接有第二密封层,第二密封层包括的果冻硅胶层和泡沫橡胶层都具备使用寿命长的性能,达到了使用寿命长的目的,解决了现有的密封机构不具备使用寿命长的功能,导致其容易老化损坏,从而起不到密封效果的问题。
权利要求书 (12项)
说明书
附图
……
……
图1
图2
图3
法律状态时间线
真空隔板及其安装结构
当前第 / 件
一种防磨损效果优异的PVC隔板
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