集成平面变栅距光栅和微狭缝的微型光谱仪及其制造方法

摘     要：本发明适用于光谱分析仪器领域，公开了集成平面变栅距光栅和微狭缝的微型光谱仪及其制造方法。微型光谱仪包括阵列光电探测器、上透光平板和下透光平板；上透光平板上设置有隔光层，隔光层上设置有透射狭缝；下透光平板上设置有变栅距光栅。本发明提供的微型光谱仪基于平面变栅距光栅这一核心器件，该器件既有普通衍射光栅的分光作用，又通过栅线的变化起到像差校正作用。设置了透射微狭缝为系统入光口，克服了反射式微狭缝难以隔绝环境光干扰、系统封装不便、杂散光强的缺点，降低了系统集成的难度，提高了光谱信号检测的精度。制造方法完全被MOEMS工艺兼容，体积微小紧凑，适用于对体积有严格要求的嵌入式光谱检测系统，且检测精度高、检测效果好。

著 录 项： 

• 1． 买家选定所需专利，确认国家手续办理方，下单，确认交易合同；
  2． 卖家确认专利可交易；
  3． 买家支付交易款项到平台；
  4． 买卖双方签订《专利转让委托书》、《转让协议》、《解除代理委托书》各一式两份并提交给办理国家手续方；
  5． 办理国家手续方提交办理官方手续，国家知识产权局1个月左右下发《著录项目变更手续合格通知书》；
  6． 买家确认收到《专利证书》、《著录项目变更手续合格通知书》；
  7． 平台把交易款项支付给卖家，至此专利转让合同完成。
  

• 交易方	企业	个人
  买家	营业执照副本复印件（需盖公章）	身份证复印件（签字）
  	专利转让委托书（需盖公章）一式两份	专利转让委托书（需签字）一式两份
  	专利转让协议（需盖公章）一式两份	专利转让协议（需签字）一式两份
  卖家	营业执照副本复印件（需盖公章）	身份证复印件（需申请人签字）
  	解除代理委托书（需盖公章）一式两份（如专利通过代理机构申请）	解除代理委托书（需签字）一式两份（如专利通过代理机构申请）
  	专利转让协议（需盖公章）一式两份	专利转让协议（需签字）一式两份
  	专利请求书或手续合格通知书、授权通知书复印件	专利请求书或手续合格通知书、专利授权通知书复印件
  	专利证原件（若授权下证）	专利证原件（若授权下证）

• 日期

  法律信息

  备注