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摘 要:本发明适用于传感技术领域,提供了一种集成红外热传感器,包括光输出装置、微环波导阵列组件、直波导阵列组件及光电探测器;微环波导阵列组件包括第一衬底及多个谐振波长不同的微环波导,其排布成并列的微环波导列;直波导阵列组件包括第二衬底及多个直波导,微环波导列与直波导一一上下对应且可实现参考光的耦合传输,还包括输入波导及输出波导;第一、第二衬底通过支撑柱对接。本发明在同一衬底上制作微环波导阵列,在另一衬底制作直波导阵列,将两组件组合构成像元阵列,在工艺上更易实现,尺寸、对位更加精准,有利于传感器的灵敏度和响应速度的提升,并且可采用一个探测器探测全部像元的输出光,既简化了结构又节约了成本。
著 录 项:
专利/申请号: | CN201510111846.7 | 专利名称: | 集成红外热传感器及其制造方法及成像系统和成像方法 |
申请日: | 2015-03-13 | 申请/专利权人 | 深圳先进技术研究院 |
专利类型: | 发明 | 地址: | 广东省深圳市南山区西丽大学城学苑大道1068号 |
专利状态: | 已下证 查询审查信息 | 分类号: | G01J5/10搜分类 传感器搜索 |
公开/公告日: | 2017-10-13 | 转让价格: | 面议 |
公开/公告号: | CN104764531B | 交易状态: | 等待洽谈 搜索相似专利 |
交易方 | 企业 | 个人 |
买家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(签字) |
专利转让委托书(需盖公章)一式两份 | 专利转让委托书(需签字)一式两份 | |
专利转让协议(需盖公章)一式两份 | 专利转让协议(需签字)一式两份 | |
卖家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(需申请人签字) |
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专利转让协议(需盖公章)一式两份 | 专利转让协议(需签字)一式两份 | |
专利请求书或手续合格通知书、授权通知书复印件 | 专利请求书或手续合格通知书、专利授权通知书复印件 | |
专利证原件(若授权下证) | 专利证原件(若授权下证) |
日期 | 法律信息 | 备注 |