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摘 要:本发明涉及湿度传感器技术领域,尤其涉及一种基于“拱形”结构的电容式湿度传感器及其制备方法和应用。所述湿度传感器包括:顶部电极、底部电极,其均为“拱形”结构;介质层,所述顶部电极、底部电极上均设置有阵列式纳米锥结构的介质层,且锥尖背向其所在电极的表面;导线,所述顶部电极、底部电极上均设置导线;所述顶部电极、底部电极组装后形成环形结构,且两个电极上的介质层均位于环形结构的内侧。相比于一些现有技术,本发明提出了一种灵敏度高、响应/恢复时间短、可重复性好的高性能电容式湿度传感器及其低成本、工艺简单、形貌可控且可大规模生产的制备方法。
著 录 项:
专利/申请号: | CN201910774745.6 | 专利名称: | 一种基于“拱形”结构的电容式湿度传感器及其制备方法和应用 |
申请日: | 2019-08-21 | 申请/专利权人 | 济南大学 |
专利类型: | 发明 | 地址: | 山东省济南市市中区南辛庄西路336号 |
专利状态: | 已下证 查询审查信息 | 分类号: | G01N27/22搜分类 通信搜索 |
公开/公告日: | 2022-03-11 | 转让价格: | 面议 |
公开/公告号: | CN110470703B | 交易状态: | 等待洽谈 搜索相似专利 |
交易方 | 企业 | 个人 |
买家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(签字) |
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专利转让协议(需盖公章)一式两份 | 专利转让协议(需签字)一式两份 | |
卖家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(需申请人签字) |
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日期 | 法律信息 | 备注 |