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| 专利/申请号： | CN201710321577.6 | 专利名称： | 基于紫外光刻技术的反射式光栅的制作方法 |
| 申请日： | 2017-05-09 | 申请/专利权人 | 南京邮电大学 |
| 专利类型： | 发明 | 地址： | 江苏省南京市鼓楼区新模范马路66号 |
| 专利状态： | 已下证 查询审查信息 | 分类号： | G02B5/18分类检索 其他专利转让搜索 |
| 公开/公告日： | 2019-07-16 | 转让价格： | 【平台担保交易】 |
| 公开/公告号： | CN106970437B | 交易状态： | 等待洽谈 搜索相似专利 |
摘 要：本发明公开了一种基于紫外光刻技术的反射式光栅的制作方法，是一种高效，高精度，高分辨率的光栅制作方法，该光栅以二氧化硅为基底，在基底上设有多个平行的楔形反射式面，整个光栅表面镀银，以提高反射效果。制作过程中主要应用了倾斜光刻来制作楔形反射面，通过控制掩模板的大小和形状可以制作任意尺寸的光栅器件。由于单次生产出来的是大型的光栅，可以通过切割获得成片光栅，从而达到单片光栅的利益最大化。同时，紫外光刻法不会产生鬼线和伴线，不存在刻划光栅刻槽的微观不规则或者毛刺缺陷。即便在加工过程中出现了这些缺陷，在后面的质量检测中也可以将不合格片丢弃，保留合格的光栅出厂。
| 交易方 | 企业 | 个人 |
| 买家 | 营业执照副本复印件（需盖公章） | 身份证复印件（签字） |
| 专利转让委托书（需盖公章）一式两份 | 专利转让委托书（需签字）一式两份 | |
| 专利转让协议（需盖公章）一式两份 | 专利转让协议（需签字）一式两份 | |
| 卖家 | 营业执照副本复印件（需盖公章） | 身份证复印件（需申请人签字） |
| 解除代理委托书（需盖公章）一式两份（如专利通过代理机构申请） | 解除代理委托书（需签字）一式两份（如专利通过代理机构申请） | |
| 专利转让协议（需盖公章）一式两份 | 专利转让协议（需签字）一式两份 | |
| 专利请求书或手续合格通知书、授权通知书复印件 | 专利请求书或手续合格通知书、专利授权通知书复印件 | |
| 专利证原件（若授权下证） | 专利证原件（若授权下证） |
| 日期 | 法律信息 | 备注 |
| 申请号 | 专利名称 | 发布日期 |
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