基于紫外光刻技术的反射式光栅的制作方法

摘     要：本发明公开了一种基于紫外光刻技术的反射式光栅的制作方法，是一种高效，高精度，高分辨率的光栅制作方法，该光栅以二氧化硅为基底，在基底上设有多个平行的楔形反射式面，整个光栅表面镀银，以提高反射效果。制作过程中主要应用了倾斜光刻来制作楔形反射面，通过控制掩模板的大小和形状可以制作任意尺寸的光栅器件。由于单次生产出来的是大型的光栅，可以通过切割获得成片光栅，从而达到单片光栅的利益最大化。同时，紫外光刻法不会产生鬼线和伴线，不存在刻划光栅刻槽的微观不规则或者毛刺缺陷。即便在加工过程中出现了这些缺陷，在后面的质量检测中也可以将不合格片丢弃，保留合格的光栅出厂。

著 录 项： 

• 1． 买家选定所需专利，确认国家手续办理方，下单，确认交易合同；
  2． 卖家确认专利可交易；
  3． 买家支付交易款项到平台；
  4． 买卖双方签订《专利转让委托书》、《转让协议》、《解除代理委托书》各一式两份并提交给办理国家手续方；
  5． 办理国家手续方提交办理官方手续，国家知识产权局1个月左右下发《著录项目变更手续合格通知书》；
  6． 买家确认收到《专利证书》、《著录项目变更手续合格通知书》；
  7． 平台把交易款项支付给卖家，至此专利转让合同完成。
  

• 交易方	企业	个人
  买家	营业执照副本复印件（需盖公章）	身份证复印件（签字）
  	专利转让委托书（需盖公章）一式两份	专利转让委托书（需签字）一式两份
  	专利转让协议（需盖公章）一式两份	专利转让协议（需签字）一式两份
  卖家	营业执照副本复印件（需盖公章）	身份证复印件（需申请人签字）
  	解除代理委托书（需盖公章）一式两份（如专利通过代理机构申请）	解除代理委托书（需签字）一式两份（如专利通过代理机构申请）
  	专利转让协议（需盖公章）一式两份	专利转让协议（需签字）一式两份
  	专利请求书或手续合格通知书、授权通知书复印件	专利请求书或手续合格通知书、专利授权通知书复印件
  	专利证原件（若授权下证）	专利证原件（若授权下证）

• 日期

  法律信息

  备注