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摘 要:本发明公开了一种基于In合金的贵金属纳米颗粒及其制备方法,该制备方法的特征是在贵金属纳米颗粒的制备中使用了In合金共熔固态结晶的生长方式和热升华解元In组分的两步加工工艺,本发明旨在利用In的低熔点和低表面扩散活化能,降低贵金属纳米颗粒的制备温度,拓宽基于物理气相淀积的贵金属纳米颗粒的应用范围。该方法的优点在于,能够将贵金属纳米颗粒的制备温度降低50~300℃,并通过控制In在合金中的比例,调节贵金属纳米颗粒的大小和密度,简单高效,能够集成于半导体器件的加工工艺之中。
著 录 项:
专利/申请号: | CN201711286235.1 | 专利名称: | 一种基于In合金的贵金属纳米颗粒及其制备方法 |
申请日: | 2017-12-07 | 申请/专利权人 | 青岛大学 |
专利类型: | 发明 | 地址: | 山东省青岛市崂山区香港东路7号青岛大学 |
专利状态: | 已下证 查询审查信息 | 分类号: | C23C14/14搜分类 纳米材料搜索 |
公开/公告日: | 2019-08-09 | 转让价格: | 面议 |
公开/公告号: | CN108004506B | 交易状态: | 等待洽谈 搜索相似专利 |
交易方 | 企业 | 个人 |
买家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(签字) |
专利转让委托书(需盖公章)一式两份 | 专利转让委托书(需签字)一式两份 | |
专利转让协议(需盖公章)一式两份 | 专利转让协议(需签字)一式两份 | |
卖家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(需申请人签字) |
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专利转让协议(需盖公章)一式两份 | 专利转让协议(需签字)一式两份 | |
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专利证原件(若授权下证) | 专利证原件(若授权下证) |
日期 | 法律信息 | 备注 |