一种高稳定性低湿度检测的QCM湿度传感器及其制备方法

摘     要：本发明公开了一种高稳定性低湿度检测的QCM湿度传感器，包括压电晶片、金属电极和湿度敏感薄膜层；所述压电晶片表面设有金属电极，金属电极表面设有湿度敏感薄膜层；其特征在于：所述金属电极上设有至少一个孔洞。本发明QCM湿度传感器的金属电极具有孔洞结构，可以在少量吸附水分子的条件下达到高灵敏度检测低湿度；同时传感器的稳定性很高；并且成本低、湿度检测范围大、灵敏度高、响应快、重复性好和制作工艺简单，可以广泛应用于低湿度检测和高精度湿度检测领域。

著 录 项： 

• 1． 买家选定所需专利，确认国家手续办理方，下单，确认交易合同；
  2． 卖家确认专利可交易；
  3． 买家支付交易款项到平台；
  4． 买卖双方签订《专利转让委托书》、《转让协议》、《解除代理委托书》各一式两份并提交给办理国家手续方；
  5． 办理国家手续方提交办理官方手续，国家知识产权局1个月左右下发《著录项目变更手续合格通知书》；
  6． 买家确认收到《专利证书》、《著录项目变更手续合格通知书》；
  7． 平台把交易款项支付给卖家，至此专利转让合同完成。
  

• 交易方	企业	个人
  买家	营业执照副本复印件（需盖公章）	身份证复印件（签字）
  	专利转让委托书（需盖公章）一式两份	专利转让委托书（需签字）一式两份
  	专利转让协议（需盖公章）一式两份	专利转让协议（需签字）一式两份
  卖家	营业执照副本复印件（需盖公章）	身份证复印件（需申请人签字）
  	解除代理委托书（需盖公章）一式两份（如专利通过代理机构申请）	解除代理委托书（需签字）一式两份（如专利通过代理机构申请）
  	专利转让协议（需盖公章）一式两份	专利转让协议（需签字）一式两份
  	专利请求书或手续合格通知书、授权通知书复印件	专利请求书或手续合格通知书、专利授权通知书复印件
  	专利证原件（若授权下证）	专利证原件（若授权下证）

• 日期

  法律信息

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