发明专利已授权

一种FET氢气传感器及其制备方法

📄 申请号：CN202410494694.2 📄 发布日：2026/08/10

著录项目信息

申请日

2024-04-24

公开号

CN118090867B

公开日

2024-06-25

申请人

南京信息工程大学

法律状态

已下证

专利类型

发明

主分类号

G01N27_414

IPC 分类号

G01N27_414

技术画像

所属领域

其他分类其他

应用场景

氢气泄漏检测, 工业安全监测, 燃料电池系统, 实验室气体分析, 新能源汽车

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摘要

本发明公开了一种FET氢气传感器及其制备方法，涉及氢气检测设备技术领域，旨在解决现有技术中氢气传感器存在响应时间长、低灵敏度、高浓度检测分辨率低、成本高、选择性不足等问题，所述氢气传感器从下到上依次包括衬底、沟道层、栅介质层、FET电极、隔离层、缓冲层、氢气感应层和叉指电极，还提供氢气传感器的制备方法。本发明可提供多种氢气检测方案，从而有效实现低浓度氢气的高分辨率检测，具有广阔的应用场景。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

20240625

✅ 授权

20240614

?? 实质审查的生效：

20240528

📄 公开

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