发明专利已授权

一种碳化硅长晶炉用坩埚组件运输系统

📄 申请号：CN202410032362.2 📄 发布日：2025/08/26

著录项目信息

申请日

2024-01-10

公开号

CN117864511A

公开日

2024-04-12

申请人

常州能量方舟新材料有限公司

法律状态

已下证

专利类型

发明

主分类号

B65B35_42

IPC 分类号

B65B35_42 , B65B35_36 , B65B35_58 , B65B43_52 ,

技术画像

所属领域

坩埚碳化硅晶体生长设备半导体材料制造物料输送系统坩埚

应用场景

碳化硅单晶生长, 半导体晶圆制造, 晶体生长车间自动化, 高温炉设备运维

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摘要

本发明公开了一种碳化硅长晶炉用坩埚组件运输系统，包含有承载座、夹持组件、翻转部、运输组件和包装运输带，所述运输组件包括有运输辊道，所述运输辊道首尾相连，所述运输辊道的横截面呈凹字型，所述运输辊道的上侧连续设置有若干对移动座，若干对移动座相对设置于运输辊道的两端，所述承载座设置于一对移动座之间；所述夹持组件设置于承载座之内，用于将坩埚本体固定于承载座上，所述移动座带动承载座以及坩埚本体运输；所述夹持组件包括有中心环，所述中心环固定于承载座的中心，所述中心环靠近移动座的两侧设置有一对内弧形夹板，一对内弧形夹板用于支撑在坩埚本体的锅口内壁进行固定，本发明，便捷高效地实现了自动翻转功能。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

一种大型升降平台多支点同步控制方法和控制系统

当前第 / 件

一种便于清理的除雾器

同领域国内专利 · IPC: (B65B35_42)

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¥13000.0 元

不含过户费

📋 交易方式： 委托待转让 📌 交易状态：在售 👁️ 浏览次数：88 ❤️ 收藏人数：93 📋 项目申报： 未申报

资金托管权属尽调包过户

🏢 淄博智来知识产权服务有限公司

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