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摘 要:本发明属于微纳米技术领域,具体涉及一种改善激光烧蚀微孔、槽内表面粗糙度的方法,包括以下步骤,S1:使用激光雕刻机对聚合物PMMA基板进行雕刻烧蚀处理,制备所需要的烧蚀孔和烧蚀槽;S2:将雕刻完成的聚合物PMMA基板放置于三氯甲烷溶液;S3:将带有三氯甲烷溶液的聚合物PMMA基板置于超声场;S4:将聚合物PMMA基板从超声场中取出,进行光照处理;S5:待三氯甲烷挥发充分后,使用乙醇溶液清洗聚合物PMMA基板。本发明能够有效改善聚合物PMMA基板微孔、槽表面的粗糙度,提高聚合物PMMA基板微孔、槽内表面的光滑度。
著 录 项:
专利/申请号: | CN202110727219.1 | 专利名称: | 一种改善激光烧蚀微孔、槽内表面粗糙度的方法 |
申请日: | 2021-06-29 | 申请/专利权人 | 杭州电子科技大学 |
专利类型: | 发明 | 地址: | 浙江省杭州市杭州经济技术开发区白杨街道2号大街1158号 |
专利状态: | 已下证 查询审查信息 | 分类号: | B23K26/362搜分类 微纳米 硅基材料 激光加工 芯片 半导体 传感器 电子元器件搜索 |
公开/公告日: | 2022-12-02 | 转让价格: | 面议 |
公开/公告号: | CN113478088B | 交易状态: | 等待洽谈 搜索相似专利 |
交易方 | 企业 | 个人 |
买家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(签字) |
专利转让委托书(需盖公章)一式两份 | 专利转让委托书(需签字)一式两份 | |
专利转让协议(需盖公章)一式两份 | 专利转让协议(需签字)一式两份 | |
卖家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(需申请人签字) |
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日期 | 法律信息 | 备注 |