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摘 要:本发明涉及半导体超声波检测技术领域,具体是涉及一种半导体缺陷检测用超声波检测设备,包括主机体、超声波检测组件、控制面板和推件组件,所述超声波检测组件包括有超声波检测头,所述超声波检测头用于发射和接收超声波,并将信号传送到控制面板中,所述主机体顶部固定有防护壳;所述超声波检测组件还包括有传动组件、铰接座和第一臂,所述铰接座和第一臂通过轴活动连接,且第一臂和第二臂通过轴活动连接,所述铰接座、第一臂和第二臂用于调节超声波检测头的角度和位置,本发明通过各个第一臂和第二臂移动后,可以使超声波检测头的角度和位置发生变化,且超声波检测组件的自由度较高,使超声波检测头的位置和角度可以精确控制。
著 录 项:
专利/申请号: | CN202410578420.1 | 专利名称: | 一种半导体缺陷检测用超声波检测设备 |
申请日: | 2024-05-11 | 申请/专利权人 | 恒超源洗净科技(深圳)有限公司 |
专利类型: | 发明 | 地址: | 广东省深圳市龙岗区平湖街道鹅公岭社区东深公路163号A栋101 |
专利状态: | 已下证 查询审查信息 | 分类号: | G01N29/04搜分类 半导体搜索 |
公开/公告日: | 2024-06-07 | 转让价格: | 面议 |
公开/公告号: | CN118150694A | 交易状态: | 等待洽谈 搜索相似专利 |
交易方 | 企业 | 个人 |
买家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(签字) |
专利转让委托书(需盖公章)一式两份 | 专利转让委托书(需签字)一式两份 | |
专利转让协议(需盖公章)一式两份 | 专利转让协议(需签字)一式两份 | |
卖家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(需申请人签字) |
解除代理委托书(需盖公章)一式两份(如专利通过代理机构申请) | 解除代理委托书(需签字)一式两份(如专利通过代理机构申请) | |
专利转让协议(需盖公章)一式两份 | 专利转让协议(需签字)一式两份 | |
专利请求书或手续合格通知书、授权通知书复印件 | 专利请求书或手续合格通知书、专利授权通知书复印件 | |
专利证原件(若授权下证) | 专利证原件(若授权下证) |
日期 | 法律信息 | 备注 |
2024/09/03 | 授权 | |
2024/06/25 | 实质审查的生效 | IPC(主分类): G01N 29/04 专利申请号: 202410578420.1 申请日: 2024.05.11 |
2024/06/07 | 公开 |