一种多孔Cu-SiC复合膜及其制备方法

摘     要：本发明属于金属复合材料及其制备技术领域，提供了一种多孔Cu‑SiC复合膜及其制备方法，其制备方法包括如下步骤：S1、准备基片；S2、安装靶位；S3、制备Cu3N‑SiC复合膜；S4、制备多孔Cu‑SiC复合膜，将Cu3N‑SiC复合膜置于惰性气体环境进行退火处理，得到均匀分布的多孔Cu‑SiC复合膜。本发明通过利用Cu3N薄膜的较低的分解温度，分解为单质铜和氮气，双靶共溅射，可以使得方便改变铜靶的溅射功率，有效调控薄膜中铜或SiC的含量，方便、有效调控复合膜内SiC的体积分布、粒度大小和金属的成份，工艺简单，膜与基片结合紧密、孔径细小均匀，Cu‑SiC薄膜孔隙分布均匀。

著 录 项： 

• 1． 买家选定所需专利，确认国家手续办理方，下单，确认交易合同；
  2． 卖家确认专利可交易；
  3． 买家支付交易款项到平台；
  4． 买卖双方签订《专利转让委托书》、《转让协议》、《解除代理委托书》各一式两份并提交给办理国家手续方；
  5． 办理国家手续方提交办理官方手续，国家知识产权局1个月左右下发《著录项目变更手续合格通知书》；
  6． 买家确认收到《专利证书》、《著录项目变更手续合格通知书》；
  7． 平台把交易款项支付给卖家，至此专利转让合同完成。
  

• 交易方	企业	个人
  买家	营业执照副本复印件（需盖公章）	身份证复印件（签字）
  	专利转让委托书（需盖公章）一式两份	专利转让委托书（需签字）一式两份
  	专利转让协议（需盖公章）一式两份	专利转让协议（需签字）一式两份
  卖家	营业执照副本复印件（需盖公章）	身份证复印件（需申请人签字）
  	解除代理委托书（需盖公章）一式两份（如专利通过代理机构申请）	解除代理委托书（需签字）一式两份（如专利通过代理机构申请）
  	专利转让协议（需盖公章）一式两份	专利转让协议（需签字）一式两份
  	专利请求书或手续合格通知书、授权通知书复印件	专利请求书或手续合格通知书、专利授权通知书复印件
  	专利证原件（若授权下证）	专利证原件（若授权下证）

• 日期

  法律信息

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