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摘 要:本实用新型公开了一种基于人工金属微结构的气压传感器,涉及气压传感器技术领域,解决了现有的气压传感器大多需要电信号进行工作,很难在复杂电磁环境下使用的问题。其包括石英衬底,所述石英衬底上设有用于阻挡透射的金属铝反射层,金属铝反射层上方自下而上依次设有氧化铝介质层、二氧化硅层和悬浮金属铝膜;所述二氧化硅层为环形,所述悬浮金属铝膜上开设有纳米圆孔阵列,圆孔阵列位于二氧化硅层内孔的正上方,且纳米圆孔上皆覆盖有透明薄膜。其达到了能使用全光信号进行工作,可以在天然气等易爆气体中使用,适用性更广的效果。
著 录 项:
专利/申请号: | CN201921853843.0 | 专利名称: | 一种基于人工金属微结构的气压传感器 |
申请日: | 2019-10-31 | 申请/专利权人 | 南京信息工程大学 |
专利类型: | 实用新型 | 地址: | 江苏省南京市江北新区宁六路219号 |
专利状态: | 已下证 查询审查信息 | 分类号: | G01L11/02搜分类 传感器搜索 |
公开/公告日: | 2020-05-05 | 转让价格: | 面议 |
公开/公告号: | CN210464770U | 交易状态: | 等待洽谈 搜索相似专利 |
交易方 | 企业 | 个人 |
买家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(签字) |
专利转让委托书(需盖公章)一式两份 | 专利转让委托书(需签字)一式两份 | |
专利转让协议(需盖公章)一式两份 | 专利转让协议(需签字)一式两份 | |
卖家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(需申请人签字) |
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日期 | 法律信息 | 备注 |