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摘 要:本实用新型提供一种碳化硅晶体缺陷的检测装置,包括:检测盒、盒门、控制器以及光学显微镜,检测盒正面安装有两个盒门,检测盒上方设置有光学显微镜,右侧盒门正面右侧安装有控制器,检测盒上表面中间贯通开设有检测口,与现有技术相比,本实用新型具有如下的有益效果:通过设置固定轴承、左推杆、右推杆、固定夹板、旋转板以及调节电机,能够便于将碳化硅晶体样品进行夹持使其固定,从而便于固定样品进行缺陷检测,且在检测过程中还能够便于使样品转动调节检测位置,便于对样品不同的位置进行缺陷检测,通过设置加热层、铜制导热层、测温探头以及控制器,能够使检测盒内部处于恒温状态,防止检测盒内部温度过低影响缺陷检测结果。
著 录 项:
专利/申请号: | CN202323297055.7 | 专利名称: | 一种碳化硅晶体缺陷的检测装置 |
申请日: | 2023-11-30 | 申请/专利权人 | 合肥世纪金芯半导体有限公司 |
专利类型: | 实用新型 | 地址: | 安徽省合肥市高新区长宁大道与长安路交叉口集成电路产业园一期A-1号楼1层西边(102)、A-1号楼3层西边(302) |
专利状态: | 已下证 查询审查信息 | 分类号: | G01N21/95搜分类 其他搜索 |
公开/公告日: | 2024-09-27 | 转让价格: | 面议 |
公开/公告号: | CN221782139U | 交易状态: | 等待洽谈 搜索相似专利 |
交易方 | 企业 | 个人 |
买家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(签字) |
专利转让委托书(需盖公章)一式两份 | 专利转让委托书(需签字)一式两份 | |
专利转让协议(需盖公章)一式两份 | 专利转让协议(需签字)一式两份 | |
卖家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(需申请人签字) |
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专利请求书或手续合格通知书、授权通知书复印件 | 专利请求书或手续合格通知书、专利授权通知书复印件 | |
专利证原件(若授权下证) | 专利证原件(若授权下证) |
日期 | 法律信息 | 备注 |
2024/09/27 | 授权 |