一种降低碳化硅晶体应力的退火装置

摘     要：本实用新型提供一种降低碳化硅晶体应力的退火装置，包括：控制台、气瓶和旋转送气盒，控制台顶部设有一组底座，底座上表面向下凹陷形成一组放置槽，与现有技术相比，本实用新型具有如下的有益效果：通过设置气瓶、送气管、控制阀以及旋转送气盒，可将纯净氢气输送到退火管内部，从而降低碳化硅晶体表面与外界环境氧化产生反应，降低碳化硅晶体表面应力，防止晶体开裂以及晶体污染，通过设置旋转送气扇、滑槽一、滑槽二以及万向球，可将纯净氢气匀速均匀地导入进退火管内部，保证了退火管内部气氛的稳定，防止碳化硅表面氧化和污染，保证晶体的完整性和性能。

著 录 项： 

• 1． 买家选定所需专利，确认国家手续办理方，下单，确认交易合同；
  2． 卖家确认专利可交易；
  3． 买家支付交易款项到平台；
  4． 买卖双方签订《专利转让委托书》、《转让协议》、《解除代理委托书》各一式两份并提交给办理国家手续方；
  5． 办理国家手续方提交办理官方手续，国家知识产权局1个月左右下发《著录项目变更手续合格通知书》；
  6． 买家确认收到《专利证书》、《著录项目变更手续合格通知书》；
  7． 平台把交易款项支付给卖家，至此专利转让合同完成。
  

• 交易方	企业	个人
  买家	营业执照副本复印件（需盖公章）	身份证复印件（签字）
  	专利转让委托书（需盖公章）一式两份	专利转让委托书（需签字）一式两份
  	专利转让协议（需盖公章）一式两份	专利转让协议（需签字）一式两份
  卖家	营业执照副本复印件（需盖公章）	身份证复印件（需申请人签字）
  	解除代理委托书（需盖公章）一式两份（如专利通过代理机构申请）	解除代理委托书（需签字）一式两份（如专利通过代理机构申请）
  	专利转让协议（需盖公章）一式两份	专利转让协议（需签字）一式两份
  	专利请求书或手续合格通知书、授权通知书复印件	专利请求书或手续合格通知书、专利授权通知书复印件
  	专利证原件（若授权下证）	专利证原件（若授权下证）

• 日期	法律信息	备注
  2024/09/17	授权