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摘 要:本实用新型涉及探针台,公开了一种晶圆探针台,其技术方案要点是包括探针台本体,探针台本体的上方开有放置槽,放置槽的下方开有检测通道,检测通道与放置槽相通,放置槽内固定连接有传导圆环,传导圆环的下方设有探针卡,探针卡固定连接在放置槽和检测通道之间,传导圆环上穿设有传导顶针,探针台本体的上方设有盖板,盖板的四个拐角处滑移穿设有导向柱,导向柱固定连接在探针台本体上,盖板连接有过流板,当盖板贴合在探针台本体上时,过流板与传导顶针之间电性连接。本实用新型在检测过程中,探针台本体的上方设有盖板,盖板能够阻隔灰尘落入放置槽中的量,以此提高了晶圆在测试环境中的洁净程度,提高了晶圆最终的测试精度。
著 录 项:
专利/申请号: | CN201920882136.8 | 专利名称: | 一种晶圆探针台 |
申请日: | 2019-06-12 | 申请/专利权人 | 无锡新微阳科技有限公司 |
专利类型: | 实用新型 | 地址: | 江苏省无锡市新吴区珠江路49-1号 |
专利状态: | 已下证 查询审查信息 | 分类号: | G01R31/26搜分类 其他搜索 |
公开/公告日: | 2020-03-24 | 转让价格: | 面议 |
公开/公告号: | CN210181161U | 交易状态: | 等待洽谈 搜索相似专利 |
交易方 | 企业 | 个人 |
买家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(签字) |
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卖家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(需申请人签字) |
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日期 | 法律信息 | 备注 |