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摘 要:本实用新型公开了一种半导体器件制造装置,包括底座,所述底座的顶部固定连接有安装箱,所述安装箱的右侧固定连接有加工装置,所述安装箱的内部套设有风机,所述安装箱的内部设置有多个过滤组件和检修单元;所述检修单元包括滑动连接在安装箱上下两壁的滑动件,两个所述滑动件之间固定连接有多个U形板和防护网,且过滤组件与U形板滑动连接。本实用新型通过电磁铁磁力的影响,使得磁板带动滑动件、U形板、防护网和过滤组件沿着横杆的表面向左侧移动,从而使过滤组件远离安装箱,随后人们将过滤组件拿掉,并对其进行检修即可,以此使得该半导体器件制造装置具有了便捷检修废气过滤装置的优点。
著 录 项:
专利/申请号: | CN202323546396.3 | 专利名称: | 一种半导体器件制造装置 |
申请日: | 2023-12-25 | 申请/专利权人 | 上海拓赛半导体材料有限公司 |
专利类型: | 实用新型 | 地址: | 上海市金山区枫泾镇建贡路188号9幢一层 |
专利状态: | 已下证 查询审查信息 | 分类号: | B01D46/00搜分类 半导体 器件搜索 |
公开/公告日: | 2024-08-13 | 转让价格: | 面议 |
公开/公告号: | CN221513832U | 交易状态: | 等待洽谈 搜索相似专利 |
交易方 | 企业 | 个人 |
买家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(签字) |
专利转让委托书(需盖公章)一式两份 | 专利转让委托书(需签字)一式两份 | |
专利转让协议(需盖公章)一式两份 | 专利转让协议(需签字)一式两份 | |
卖家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(需申请人签字) |
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专利转让协议(需盖公章)一式两份 | 专利转让协议(需签字)一式两份 | |
专利请求书或手续合格通知书、授权通知书复印件 | 专利请求书或手续合格通知书、专利授权通知书复印件 | |
专利证原件(若授权下证) | 专利证原件(若授权下证) |
日期 | 法律信息 | 备注 |
2024/08/13 | 授权 |