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摘 要:本发明涉及一种基于游标效应的片上折射率与温度双参量传感器,包括两个跑道型亚波长光栅波导微环(传感微环)和一个跑道型普通微环(参考微环)。由单个亚波长光栅传感微环和一个参考微环组成的级联双环折射率传感器,提高了单个微环结构折射率传感器的灵敏度,并且利用游标效应有效地将折射率微小的变化转换为较大的谐振峰偏移量。本发明的折射率传感器将同等折射率变化引起的微环谐振峰偏移量放大了10倍以上,实现了折射率传感灵敏度7061nm/RIU。在级联双环结构基础上,本发明设计了由双传感环和一个参考环构成的基于游标效应的双参量传感器,首次实现了高灵敏度的折射率和温度双参量同时测量,且可以同时大幅度地提高折射率和温度传感的灵敏度。
著 录 项:
专利/申请号: | CN202210026049.9 | 专利名称: | 一种基于游标效应的片上折射率与温度双参量传感器 |
申请日: | 2022-01-11 | 申请/专利权人 | 中国地质大学(武汉) |
专利类型: | 发明 | 地址: | 湖北省武汉市洪山区鲁磨路388号 |
专利状态: | 已下证 查询审查信息 | 分类号: | G01D21/02搜分类 传感器搜索 |
公开/公告日: | 2023-08-04 | 转让价格: | 面议 |
公开/公告号: | CN114543873B | 交易状态: | 等待洽谈 搜索相似专利 |
交易方 | 企业 | 个人 |
买家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(签字) |
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专利转让协议(需盖公章)一式两份 | 专利转让协议(需签字)一式两份 | |
卖家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(需申请人签字) |
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日期 | 法律信息 | 备注 |