一种BMN多层介质薄膜及其制备方法

摘     要：本发明提供了一种BMN多层介质薄膜及其制备方法，属于微电子技术领域。本发明提供的制备方法，包括以下步骤：将Nb2O5、氢氟酸和氨水混合，进行沉淀反应，得到氢氧化铌沉淀；将所述氢氧化铌沉淀、柠檬酸和水混合，进行络合反应，得到铌‑CA溶液；将所述铌‑CA溶液、硝酸铋、硝酸镁、柠檬酸和水混合，进行络合反应，得到BMN前驱体溶胶；利用激光脉冲沉积法在Pt/Ti/SiO2/Si基片的表面沉积MgO，得到MgO仔晶层；将所述BMN前驱体溶胶涂覆在所述MgO仔晶层的表面后，在氧气条件下，进行退火热处理，得到单层薄膜；将所述单层薄膜重复所述涂覆和退火热处理过程，得到BMN多层介质薄膜。

著 录 项： 

• 1． 买家选定所需专利，确认国家手续办理方，下单，确认交易合同；
  2． 卖家确认专利可交易；
  3． 买家支付交易款项到平台；
  4． 买卖双方签订《专利转让委托书》、《转让协议》、《解除代理委托书》各一式两份并提交给办理国家手续方；
  5． 办理国家手续方提交办理官方手续，国家知识产权局1个月左右下发《著录项目变更手续合格通知书》；
  6． 买家确认收到《专利证书》、《著录项目变更手续合格通知书》；
  7． 平台把交易款项支付给卖家，至此专利转让合同完成。
  

• 交易方	企业	个人
  买家	营业执照副本复印件（需盖公章）	身份证复印件（签字）
  	专利转让委托书（需盖公章）一式两份	专利转让委托书（需签字）一式两份
  	专利转让协议（需盖公章）一式两份	专利转让协议（需签字）一式两份
  卖家	营业执照副本复印件（需盖公章）	身份证复印件（需申请人签字）
  	解除代理委托书（需盖公章）一式两份（如专利通过代理机构申请）	解除代理委托书（需签字）一式两份（如专利通过代理机构申请）
  	专利转让协议（需盖公章）一式两份	专利转让协议（需签字）一式两份
  	专利请求书或手续合格通知书、授权通知书复印件	专利请求书或手续合格通知书、专利授权通知书复印件
  	专利证原件（若授权下证）	专利证原件（若授权下证）

• 日期

  法律信息

  备注