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| 专利/申请号： | CN202010679363.8 | 专利名称： | 一种BMN多层介质薄膜及其制备方法 |
| 申请日： | 2020-07-15 | 申请/专利权人 | 齐鲁工业大学 |
| 专利类型： | 发明 | 地址： | 山东省济南市长清区大学路3501号 |
| 专利状态： | 已下证 查询审查信息 | IPC分类号： | C23C18/12 分类检索 |
| 公开/公告日： | 2020-11-03 | 转让价格： | 【平台担保交易】 |
| 公开/公告号： | CN111876756A | 交易状态： | 等待洽谈 搜索相似专利 |
| 浏览量： | 25 | 所属领域： | 塑料专利转让搜索 |
摘 要：本发明提供了一种Bi1.5MgNb1.5O7(BMN)多层介质薄膜及其制备方法，属于微电子技术领域。本发明提供的制备方法，包括以下步骤：将柠檬酸铋铵、四水合乙酸镁、乙醇铌和柠檬酸水溶液混合，进行络合反应，得到Bi-Mg-Ni前驱体溶胶；利用激光脉冲沉积法在Pt(111)/Ti/SiO2/Si(100)基片的表面沉积MgO，得到取向为(111)的MgO仔晶层；将所述Bi-Mg-Ni前驱体溶胶涂覆在所述取向为(111)的MgO仔晶层的表面后，进行退火热处理，得到单层膜；将所述单层薄膜重复涂覆和退火热处理过程，得到取向为(222)的BMN多层介质薄膜。
| 交易方 | 企业 | 个人 |
| 买家 | 营业执照副本复印件（需盖公章） | 身份证复印件（签字） |
| 专利转让委托书（需盖公章）一式两份 | 专利转让委托书（需签字）一式两份 | |
| 专利转让协议（需盖公章）一式两份 | 专利转让协议（需签字）一式两份 | |
| 卖家 | 营业执照副本复印件（需盖公章） | 身份证复印件（需申请人签字） |
| 解除代理委托书（需盖公章）一式两份（如专利通过代理机构申请） | 解除代理委托书（需签字）一式两份（如专利通过代理机构申请） | |
| 专利转让协议（需盖公章）一式两份 | 专利转让协议（需签字）一式两份 | |
| 专利请求书或手续合格通知书、授权通知书复印件 | 专利请求书或手续合格通知书、专利授权通知书复印件 | |
| 专利证原件（若授权下证） | 专利证原件（若授权下证） |
| 日期 | 法律信息 | 备注 |
| 申请号 | 专利名称 | 发布日期 |
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