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专利详情
实用新型
已授权
一种芯片吹风清洁装置
📄 申请号:CN202323039034.5
📄 发布日:2025/09/11
著录项目信息
申请日
2023-11-10
公开号
CN221620235U
公开日
2024-08-30
申请人
丁向楠
法律状态
已下证
专利类型
实用新型
主分类号
B08B5_02
IPC 分类号
B08B5_02
,
B08B1_12
,
B08B1_32
,
B08B13_00
,
H01L21_67
,
H01L21_683
,
技术画像
所属领域
半导体制造设备
半导体制造设备
清洁装置
吹风装置
应用场景
芯片制造, 半导体封装, 电子元器件清洁, 晶圆清洁, 集成电路生产
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摘要
本实用新型公开了一种芯片吹风清洁装置,涉及芯片清洁技术领域,包括操作箱,所述第一转杆的杆壁固定连接有两个固定杆,两个所述固定杆的另一端共同固定连接有喷气板,所述操作箱的内壁对称固定连接有两个风机,所述喷气板的内部对称固定套接有多个喷气管,每个所述喷气管的另一端均固定连接有双向喷气罩,每个所述第二转杆的杆壁均固定连接有多个刷毛,每个所述刷毛均与底板的上表面相匹配。本实用新型通过双向喷气罩与芯片板呈一定角度,进而能够将芯片板凹陷处或者零件侧壁处的灰尘吹落,多个刷毛亦作用于芯片板表面,并且多个喷气罩能将刷毛内部的灰尘吹落,防止灰尘集中于刷毛内部导致清理效果不佳。
权利要求书 (12项)
说明书
附图
……
……
图1
图2
图3
法律状态时间线
20240830
✅ 授权
一种汽车配件刚度检测机
当前第 / 件
一种防止漏水的水管接头装置
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B08B5_04
覆盖
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未申报
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