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摘 要:本实用新型公开了一种高效散热的平面靶,涉及平面靶领域,为解决现有技术中的现有的平面靶在高强度使用中会产生高温,影响溅射速率的问题。所述平面靶主体的一侧安装有散热连接板,所述散热连接板的一侧安装有支撑板,所述支撑板的一侧安装有冷却水箱,所述平面靶主体的内表面设置有平面靶限位块,所述平面靶限位块设置有四个,四个所述平面靶限位块的一侧均设置有平面靶凹槽,所述散热连接板的内侧设置有连接板限位块,四个所述连接板限位块的一侧均设置有连接板凹槽,所述连接板凹槽的内部安装有冷却水管,所述冷却水管的两端均延伸至连接板限位块内部与连接板限位块密封连接,所述连接板限位块的内部设置有储水腔。
著 录 项:
专利/申请号: | CN202023315858.7 | 专利名称: | 一种高效散热的平面靶 |
申请日: | 2020-12-31 | 申请/专利权人 | 莱糸真空科技(常州)有限公司 |
专利类型: | 实用新型 | 地址: | 江苏省常州市新北区黄河西路388号—16 |
专利状态: | 已下证 查询审查信息 | 分类号: | C23C14/35搜分类 其他搜索 |
公开/公告日: | 2021-09-17 | 转让价格: | 1600.0元 |
公开/公告号: | CN214218842U | 交易状态: | 等待洽谈 搜索相似专利 |
交易方 | 企业 | 个人 |
买家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(签字) |
专利转让委托书(需盖公章)一式两份 | 专利转让委托书(需签字)一式两份 | |
专利转让协议(需盖公章)一式两份 | 专利转让协议(需签字)一式两份 | |
卖家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(需申请人签字) |
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专利转让协议(需盖公章)一式两份 | 专利转让协议(需签字)一式两份 | |
专利请求书或手续合格通知书、授权通知书复印件 | 专利请求书或手续合格通知书、专利授权通知书复印件 | |
专利证原件(若授权下证) | 专利证原件(若授权下证) |
日期 | 法律信息 | 备注 |