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摘 要:本实用新型涉及电路基片刻蚀技术领域,尤其为一种均匀刻蚀基片的集成电路芯片湿处理装置,包括底置板,盘框顶端固定设置有T型板,T型板顶端固定设置有折架,折架顶端固定设置有弯钩杆,弯钩杆顶端内侧与组合栏杆嵌合接触,组合栏杆左右两端均固定设置有方台,方台顶部设置有装配扣盘,方台顶端以及装配扣盘底端内侧之间均固定设置有电动气缸装置,装配扣盘内部通过外部螺柱与面板内部螺纹固定设置,本实用新型通过柔性垫块、卡块、T型板、折架、弯钩杆、方台、装配扣盘、电动气缸装置、电动滑轨装置、配套滑台、垫盘以及撑杆形成对集成电路基片的缓慢往复震动以及除气泡均匀刻蚀的作用。
著 录 项:
专利/申请号: | CN202322486999.2 | 专利名称: | 一种均匀刻蚀基片的集成电路芯片湿处理装置 |
申请日: | 2023-09-13 | 申请/专利权人 | |
专利类型: | 实用新型 | 地址: | |
专利状态: | 已下证 查询审查信息 | 关键词: | 集成电路 相似专利 |
公开/公告日: | 转让价格: | 面议 | |
公开/公告号: | 交易状态: | 等待洽谈 |
交易方 | 企业 | 个人 |
买家 | 营业执照副本复印件(最新年检需盖公章)与组织机构代码副本复印件(需盖公章)一个专利各一份 | 身份证复印件(签字) |
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专利协议(需盖公章)一式两份 | 专利协议(需签字)一式两份 | |
卖家 | 营业执照副本复印件(最新年检需盖公章)组织机构代码副本复印件(需盖公章)一个专利各一份 | 身份证复印件(需申请人签字) |
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专利证原件(若授权未下证) | 专利证原件(若授权未下证) |
日期 | 法律信息 | 备注 |