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摘 要:本实用新型公开了一种半导体用方便清洁的特殊气体反应装置,涉及气体反应装置技术领域,包括反应管主体,所述反应管主体的内侧固定连接有连接管,所述反应管主体的外侧活动连接有管盖,所述管盖的中间活动连接有连接板,所述连接板的中间固定连接有入气管,所述入气管与外界的注气管道连接,所述反应管主体的另一侧设置有与入气管结构相同的出气口,所述入气管的侧端与连接管活动连接,所述反应管主体的底部固定连接有底座。本实用新型通过连接板、螺纹环、限位孔、内置螺纹和限位杆的共同配合,通过限位孔和限位杆保持管盖与反应管主体的竖直连接,从而避免管盖偏斜安装导致反应管主体的密闭性降低。
著 录 项:
专利/申请号: | CN202322594507.1 | 专利名称: | 一种半导体用方便清洁的特殊气体反应装置 |
申请日: | 2023-09-25 | 申请/专利权人 | |
专利类型: | 实用新型 | 地址: | |
专利状态: | 已下证 查询审查信息 | 分类号: | B01J19/00搜分类 电子搜索 |
公开/公告日: | 转让价格: | 面议 | |
公开/公告号: | 交易状态: | 等待洽谈 搜索相似专利 |
交易方 | 企业 | 个人 |
买家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(签字) |
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日期 | 法律信息 | 备注 |