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摘 要:本发明提供了一种AFM针尖磨损测量方法,属于原子显微镜的探针标定技术领域。包括如下步骤,基于已知针尖尺寸的AFM获取纳米台阶的台阶宽度L1;基于待测针尖尺寸的AFM获取相同的纳米台阶的台阶宽度L2;根据所述台阶宽度L1和L2的差值,获取待测针尖的半径尺寸。本发明提供的AFM针尖磨损测量方法,通过基于已知针尖尺寸的AFM与待测针尖尺寸的AFM测量相同的纳米台阶结构,并依据可直接获取的结构参数计算获得待测针尖的尺寸参数,操作简单,可以实时进行测量,为AFM的测量和实验结果分析提供准确的针尖结构数据,测量结果真实可靠。
著 录 项:
专利/申请号: | CN201810720887.X | 专利名称: | AFM针尖磨损测量方法 |
申请日: | 2018-07-04 | 申请/专利权人 | 燕山大学 |
专利类型: | 发明 | 地址: | 河北省秦皇岛市海港区河北大街西段438号 |
专利状态: | 已下证 查询审查信息 | 分类号: | G01Q40/00搜分类 测量测绘 F搜索 |
公开/公告日: | 2019-10-22 | 转让价格: | 面议 |
公开/公告号: | CN108761137B | 交易状态: | 等待洽谈 搜索相似专利 |
交易方 | 企业 | 个人 |
买家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(签字) |
专利转让委托书(需盖公章)一式两份 | 专利转让委托书(需签字)一式两份 | |
专利转让协议(需盖公章)一式两份 | 专利转让协议(需签字)一式两份 | |
卖家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(需申请人签字) |
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专利转让协议(需盖公章)一式两份 | 专利转让协议(需签字)一式两份 | |
专利请求书或手续合格通知书、授权通知书复印件 | 专利请求书或手续合格通知书、专利授权通知书复印件 | |
专利证原件(若授权下证) | 专利证原件(若授权下证) |
日期 | 法律信息 | 备注 |
2019/10/22 | 授权 | |
2018/11/30 | 实质审查的生效 | IPC(主分类): G01Q 40/00 专利申请号: 201810720887.X 申请日: 2018.07.04 |