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摘 要:本发明提供了一种差分式位移传感器及其测量方法,该差分式位移传感器包括激光束一;分光镜组一,包括分光镜一和反光镜二,且分光镜一和反光镜二呈一定夹角设置,且使得三角波反射镜的反射面反射的激光束入射至分光镜一,一部分激光束先后经分光镜一和反光镜二反射后入射至其中一个光电探测器一,另一部分激光束经分光镜一透射后入射至另一个光电探测器一;处理系统,用于根据光电探测器一接收到的激光束一的入射位置变化量计算出被测物体的位移变化值。本发明差分式位移传感器,通过分光镜组一的设置,当三角波反射面的存在加工误差时,可以使得整个传感器的综合放大倍数保持一致,可靠地保障了传感器的测量精度。
著 录 项:
专利/申请号: | CN201810481648.3 | 专利名称: | 差分式位移传感器及其测量方法 |
申请日: | 2018-05-18 | 申请/专利权人 | 北方民族大学 |
专利类型: | 发明 | 地址: | 宁夏回族自治区银川市西夏区文昌北路204号 |
专利状态: | 已下证 查询审查信息 | 分类号: | G01B11/02搜分类 传感器搜索 |
公开/公告日: | 2018-10-30 | 转让价格: | 面议 |
公开/公告号: | CN108716887A | 交易状态: | 等待洽谈 搜索相似专利 |
交易方 | 企业 | 个人 |
买家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(签字) |
专利转让委托书(需盖公章)一式两份 | 专利转让委托书(需签字)一式两份 | |
专利转让协议(需盖公章)一式两份 | 专利转让协议(需签字)一式两份 | |
卖家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(需申请人签字) |
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日期 | 法律信息 | 备注 |