发明专利已授权

差分式位移传感器及其测量方法

📄 申请号：CN201810481648.3 📄 发布日：2025/09/08

著录项目信息

申请日

2018-05-18

公开号

CN108716887A

公开日

2018-10-30

申请人

重庆天成集创科技有限公司

法律状态

已下证

专利类型

发明

主分类号

G01B11_02

IPC 分类号

G01B11_02

技术画像

所属领域

位移传感器传感器技术位移测量精密测量位移传感器

应用场景

工业自动化, 精密测量, 数控机床, 机械加工, 自动化检测

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摘要

本发明提供了一种差分式位移传感器及其测量方法，该差分式位移传感器包括激光束一；分光镜组一，包括分光镜一和反光镜二，且分光镜一和反光镜二呈一定夹角设置，且使得三角波反射镜的反射面反射的激光束入射至分光镜一，一部分激光束先后经分光镜一和反光镜二反射后入射至其中一个光电探测器一，另一部分激光束经分光镜一透射后入射至另一个光电探测器一；处理系统，用于根据光电探测器一接收到的激光束一的入射位置变化量计算出被测物体的位移变化值。本发明差分式位移传感器，通过分光镜组一的设置，当三角波反射面的存在加工误差时，可以使得整个传感器的综合放大倍数保持一致，可靠地保障了传感器的测量精度。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

20240913

✅ 授权

20240806

⏳ 专利申请权的转移：

20181123

?? 实质审查的生效：

20181030

📄 公开

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