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发明专利
已授权
带有折射镜的差分式位移传感器及其测量方法
📄 申请号:CN201811308037.5
📄 发布日:2026/05/11
著录项目信息
申请日
2018-11-05
公开号
CN109084692A
公开日
2018-12-25
申请人
北方民族大学
法律状态
已下证
专利类型
发明
主分类号
G01B11_02
IPC 分类号
G01B11_02
技术画像
所属领域
位移传感器
光学传感器
位移测量
差分测量
位移传感器
应用场景
工业自动化, 智能制造, 精密测量, 机床加工, 机器人定位
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摘要
本发明提供了一种带有折射镜的差分式位移传感器及其测量方法,该位移传感器,包括激光束,入射至三角波反射镜的反射面;分光镜组,包括分光镜和反光镜,且分光镜和反光镜呈一定夹角设置,且使得三角波反射镜的反射面反射的激光束入射至分光镜,一部分激光束先后经分光镜和反光镜反射后入射至折射镜一,另一部分激光束经分光镜透射后入射至折射镜二;处理系统,用于根据光电探测器一与光电探测器二接收到的激光束的入射位置变化量计算出被测物体的位移变化值。本发明带有折射镜的差分式位移传感器,通过折射镜一与折射镜二的设置,降低激光入射至光电探测器的角度,从而可以提高位移传感器的测量精度。
权利要求书 (12项)
说明书
附图
……
……
图1
图2
图3
法律状态时间线
20241015
✅ 授权
20190118
?? 实质审查的生效 :
20181225
📄 公开
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委托待转让
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未申报
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