发明专利已授权

一种芯片加工设备用的可调式芯片固定治具

📄 申请号：CN202110652849.7 📄 发布日：2025/08/26

著录项目信息

申请日

2021-06-11

公开号

CN113305759B

公开日

2022-09-16

申请人

常州机电职业技术学院

法律状态

已下证

专利类型

发明

主分类号

B25B11_00

IPC 分类号

B25B11_00

技术画像

所属领域

半导体制造设备半导体制造设备芯片固定治具精密夹具

应用场景

芯片加工, 半导体制造, 晶圆处理, 精密定位

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摘要

本发明公开了一种芯片加工设备用的可调式芯片固定治具，涉及到芯片固定治具领域，包括包括治具底座和承料板基座，治具底座上转接座连接有承料板基座承料板基座的上设有芯片预放置槽，承料板基座的一侧设有主调节支架，主调节支架一侧一体成型有延伸至芯片预放置槽中的副调节支架，有益效果：本发明通过结合控制第一电磁伸缩杆和第二电磁伸缩杆的伸缩杆进行变化，对主调节支架以及副调节支架进行牵引改变，从而达到调节副调节支架与芯片预放置槽边缘结构之间构成矩形放置槽的长宽变化，且根据副调节支架对应于第一刻度标识线、第二刻度标识线的位置，用于确定芯片放置槽的长宽尺寸，便于调节。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

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