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摘 要:本发明公开了三波长可变尺度干涉显微成像系统、成像方法及三相位复原方法,包括沿着并排分布的第一激光器、第二激光器和第三激光器的输出方向依次连接的光纤耦合器、准直器和第一分光棱镜;第一分光棱镜将激光分为物光光路和参考光光路;参考光光路上依次放置有第一反射镜、第二分光棱镜、第二反射镜和PZT相移器;物光光路上依次放置有第三分光棱镜、显微物镜和微器件样品;第三分光棱镜的反射光路上设置有CCD相机,所述物光光路和参考光光路汇聚到第三分光棱镜后,在CCD相机上形成三波长广义相移全息图。本发明可靠性高、稳定性强和共光路好,可实现单、双和三波长多尺度免解包选择性匹配融合成像方法,多角度精确解构出不同尺度微器件高精形貌。
著 录 项:
专利/申请号: | CN202010909768.6 | 专利名称: | 三波长可变尺度干涉显微成像系统、成像方法及三相位复原方法 |
申请日: | 2020-09-02 | 申请/专利权人 | 常州机电职业技术学院 |
专利类型: | 发明 | 地址: | 江苏省常州市武进区湖塘镇鸣新中路26号 |
专利状态: | 已下证 查询审查信息 | 分类号: | G01B11/25搜分类 其他搜索 |
公开/公告日: | 2021-05-28 | 转让价格: | 24000.0元 |
公开/公告号: | CN112013791B | 交易状态: | 等待洽谈 搜索相似专利 |
交易方 | 企业 | 个人 |
买家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(签字) |
专利转让委托书(需盖公章)一式两份 | 专利转让委托书(需签字)一式两份 | |
专利转让协议(需盖公章)一式两份 | 专利转让协议(需签字)一式两份 | |
卖家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(需申请人签字) |
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专利转让协议(需盖公章)一式两份 | 专利转让协议(需签字)一式两份 | |
专利请求书或手续合格通知书、授权通知书复印件 | 专利请求书或手续合格通知书、专利授权通知书复印件 | |
专利证原件(若授权下证) | 专利证原件(若授权下证) |
日期 | 法律信息 | 备注 |