实用新型已授权

一种基于多孔硅的湿度传感器

📄 申请号：CN202223144709.8 📄 发布日：2026/08/10

著录项目信息

申请日

2022-11-25

公开号

CN218848034U

公开日

2023-04-11

申请人

南京信息工程大学

法律状态

已下证

专利类型

实用新型

主分类号

G01N27_22

IPC 分类号

G01N27_22

技术画像

所属领域

半导体传感器半导体传感器湿度传感器多孔硅材料

应用场景

环境监测, 工业自动化, 智能家居, 仓储物流, 农业设施

AI 智能推荐 · 同申请人专利 · 搜索相似专利

摘要

本实用新型公开了一种基于多孔硅的湿度传感器，属于湿度传感器领域。包括多个阵列的单元结构；所述单元结构包括由上而下依次固定连接的二氧化硅薄膜、第二层和金属薄膜，所述第二层包括固定连接在二氧化硅薄膜的正下方的固体硅和固定连接在固体硅圆周外侧的多孔硅。与现有技术相比，本申请将多孔硅作为湿敏材料，由于多孔硅的吸水性，可以用来吸附空气中水分，随着环境湿度的变化，其介电常数也会明显改变，因此所设计的湿度传感器具有响应速度快，灵敏度高的优点。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

一种基于对抗生成网络模型的雷达资料订正方法及系统

当前第 / 件

一种GPS干扰信号发射天线装置

同领域国内专利 · IPC: (G01N27_22)

G01N27_00 G01N27_02 G01N27_04 G01N27_06 G01N27_07 G01N27_08 G01N27_10 G01N27_12 G01N27_18 G01N27_22 G01N27_24 G01N27_26 G01N27_27 G01N27_28 G01N27_30 G01N27_31 G01N27_32 G01N27_327 G01N27_333 G01N27_36 G01N27_38 G01N27_403 G01N27_406 G01N27_407 G01N27_409 G01N27_414 G01N27_416 G01N27_42 G01N27_44 G01N27_447 G01N27_453 G01N27_48 G01N27_49 G01N27_60 G01N27_61 G01N27_62 G01N27_626 G01N27_64 G01N27_66 G01N27_72 G01N27_74 G01N27_80 G01N27_82 G01N27_83 G01N27_84 G01N27_85 G01N27_90 G01N27_9013 G01N27_904 G01N27_9093 G01N27_92 覆盖51个领域

相似专利推荐 AI 驱动 · 同领域

暂无同领域相似专利推荐

议价

不含过户费

📋 交易方式： 委托待转让 📌 交易状态：在售 👁️ 浏览次数：8 ❤️ 收藏人数：93 📋 项目申报： 未申报

资金托管权属尽调包过户

🏢 淄博智来知识产权服务有限公司

✓ 企业认证✓ 手机绑定历史成交 0件好评率 98.5%

📊 出价记录 (3条)

王**¥-10万

李** 企业¥-8万

陈**¥-3万

查看全部出价

我要出价 (议价)