一种基于多孔硅的湿度传感器

摘     要：本实用新型公开了一种基于多孔硅的湿度传感器，属于湿度传感器领域。包括多个阵列的单元结构；所述单元结构包括由上而下依次固定连接的二氧化硅薄膜、第二层和金属薄膜，所述第二层包括固定连接在二氧化硅薄膜的正下方的固体硅和固定连接在固体硅圆周外侧的多孔硅。与现有技术相比，本申请将多孔硅作为湿敏材料，由于多孔硅的吸水性，可以用来吸附空气中水分，随着环境湿度的变化，其介电常数也会明显改变，因此所设计的湿度传感器具有响应速度快，灵敏度高的优点。

著 录 项： 

• 1． 买家选定所需专利，确认国家手续办理方，下单，确认交易合同；
  2． 卖家确认专利可交易；
  3． 买家支付交易款项到平台；
  4． 买卖双方签订《专利转让委托书》、《转让协议》、《解除代理委托书》各一式两份并提交给办理国家手续方；
  5． 办理国家手续方提交办理官方手续，国家知识产权局1个月左右下发《著录项目变更手续合格通知书》；
  6． 买家确认收到《专利证书》、《著录项目变更手续合格通知书》；
  7． 平台把交易款项支付给卖家，至此专利转让合同完成。
  

• 交易方	企业	个人
  买家	营业执照副本复印件（需盖公章）	身份证复印件（签字）
  	专利转让委托书（需盖公章）一式两份	专利转让委托书（需签字）一式两份
  	专利转让协议（需盖公章）一式两份	专利转让协议（需签字）一式两份
  卖家	营业执照副本复印件（需盖公章）	身份证复印件（需申请人签字）
  	解除代理委托书（需盖公章）一式两份（如专利通过代理机构申请）	解除代理委托书（需签字）一式两份（如专利通过代理机构申请）
  	专利转让协议（需盖公章）一式两份	专利转让协议（需签字）一式两份
  	专利请求书或手续合格通知书、授权通知书复印件	专利请求书或手续合格通知书、专利授权通知书复印件
  	专利证原件（若授权下证）	专利证原件（若授权下证）

• 日期

  法律信息

  备注