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24小时咨询热线摘 要：本发明公开了一种差动式激光干涉纳米位移测量方法及装置。双频激光器输出波长分别为 和的正交线偏振光，射向由两个分光镜、两个偏振分光镜、两个角锥棱镜和压电陶瓷驱动器构成的差动式激光干涉仪，分别形成各自的干涉信号，由三个光电探测器接收。测量前，通过压电陶瓷驱动器调制参考角锥棱镜在1μm行程内往返运动，测得和的干涉信号的相位差为；然后参考角锥棱镜静止，测量角锥棱镜移动一被测位移，的整数干涉条纹变化数由双向计数模块测得，再次调制参考角锥棱镜测得此时和的干涉信号的相位差为，由得到的小数干涉条纹变化数；计算机根据测得的干涉条纹的整数和小数，计算得出被测位移。本发明适用于纳米级精度的位移测量技术领域。
著 录 项：
| 专利/申请号： | CN201310015103.0 | 专利名称： | 差动式激光干涉纳米位移测量方法及装置 |
| 申请日： | 2013-01-15 | 申请/专利权人 | 浙江理工大学 |
| 专利类型： | 发明 | 地址： | 浙江省杭州市江干经济开发区白杨街道2号大街5号 |
| 专利状态： | 已下证 查询审查信息 | 分类号： | G01B11/02搜分类 激光 干 纳米搜索 |
| 公开/公告日： | 2015-07-22 | 转让价格： | 面议 |
| 公开/公告号： | CN103075969B | 交易状态： | 等待洽谈 搜索相似专利 |
| 交易方 | 企业 | 个人 |
| 买家 | 营业执照副本复印件（需盖公章） | 身份证复印件（签字） |
| 专利转让委托书（需盖公章）一式两份 | 专利转让委托书（需签字）一式两份 | |
| 专利转让协议（需盖公章）一式两份 | 专利转让协议（需签字）一式两份 | |
| 卖家 | 营业执照副本复印件（需盖公章） | 身份证复印件（需申请人签字） |
| 解除代理委托书（需盖公章）一式两份（如专利通过代理机构申请） | 解除代理委托书（需签字）一式两份（如专利通过代理机构申请） | |
| 专利转让协议（需盖公章）一式两份 | 专利转让协议（需签字）一式两份 | |
| 专利请求书或手续合格通知书、授权通知书复印件 | 专利请求书或手续合格通知书、专利授权通知书复印件 | |
| 专利证原件（若授权下证） | 专利证原件（若授权下证） |
| 日期 | 法律信息 | 备注 |
| 2022/08/05 | 专利权质押合同登记的生效 | IPC(主分类): G01B 11/02 专利号: ZL 201310015103.0 申请日: 2013.01.15 授权公告日: 2015.07.22 登记号: Y2022320010404 登记生效日: 2022.07.19 出质人: 京典科技有限公司 质权人: 江苏如皋农村商业银行股份有限公司马塘支行 发明名称: 差动式激光干涉纳米位移测量方法及装置 |
| 2019/08/02 | 专利权的转移 | 登记生效日: 2019.07.15 专利权人由浙江理工大学变更为京典科技有限公司 地址由310018 浙江省杭州市江干经济开发区白杨街道2号大街5号变更为226500 江苏省南通市如皋市如城街道丰源路66号 |
| 2015/07/22 | 授权 | |
| 2013/06/05 | 实质审查的生效 | IPC(主分类): G01B 11/02 专利申请号: 201310015103.0 申请日: 2013.01.15 |
| 2013/05/01 | 公开 |
