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摘 要:本实用新型公开了一种具有旋转结构的真空镀膜机,包括空心轴和气泵,所述空心轴的内部设置有电动机,且电动机的下端设置有主动轮,所述主动轮的下端设置有工作台,所述液压泵的下端设置有底座,所述气泵的下端设置有顶盖,所述顶盖的左右两端下方分别设置有移门和箱体,所述顶盖的内部设置有通气管,所述靶材载体的下端设置有加热箱,所述限位架的下端设置有分层板,所述流通管的下端设置有弹簧,所述载物台的下端设置有从动轮。该具有旋转结构的真空镀膜机,与现有的普通真空镀膜机相比,本装置可以根据基片的体积大小调节镀膜空间,在保持应有镀膜空间的情况下,减小的不需要的镀膜空间,适用性高,减少了靶材的消耗,降低了生产成本。
著 录 项:
专利/申请号: | CN202020283082.6 | 专利名称: | 一种具有旋转结构的真空镀膜机 |
申请日: | 2020-03-10 | 申请/专利权人 | 宿迁市晶泰电子有限公司 |
专利类型: | 实用新型 | 地址: | 江苏省宿迁市沭阳县刘集镇北工业园区 |
专利状态: | 已下证 查询审查信息 | 分类号: | C23C14/50搜分类 旋转 镀膜机 真空镀膜机搜索 |
公开/公告日: | 2020-11-03 | 转让价格: | 面议 |
公开/公告号: | CN211848124U | 交易状态: | 等待洽谈 搜索相似专利 |
交易方 | 企业 | 个人 |
买家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(签字) |
专利转让委托书(需盖公章)一式两份 | 专利转让委托书(需签字)一式两份 | |
专利转让协议(需盖公章)一式两份 | 专利转让协议(需签字)一式两份 | |
卖家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(需申请人签字) |
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专利证原件(若授权下证) | 专利证原件(若授权下证) |
日期 | 法律信息 | 备注 |