实用新型已授权

全制程载具

📄 申请号：CN202121169429.5 📄 发布日：2025/12/08

著录项目信息

申请日

2021-05-27

公开号

CN215884469U

公开日

2022-02-22

申请人

东莞长盈精密技术有限公司

法律状态

已下证

专利类型

实用新型

主分类号

B65D19_26

IPC 分类号

B65D19_26 , B65D19_38 ,

技术画像

所属领域

半导体设备半导体设备晶圆载具自动化物料传输系统

应用场景

半导体制造, 晶圆运输, 洁净室, 晶圆存储, 集成电路制造

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摘要

一种全制程载具，包括胶框及组装于所述胶框上的硅胶支架，所述胶框包括外框、沿纵向及横向延伸并分别连接所述外框形成的若干连接条及形成于部分所述连接条上且靠近所述外框一侧的安装部，所述安装部包括自所述安装部表面向下凹陷形成的底腔及自所述安装部朝向所述外框凹陷形成的侧腔，所述硅胶支架包括扣入所述底腔与侧腔内的支架主体，所述支架主体包括水平的下支撑部及竖直的侧支撑部，所述下支撑部与侧支撑部的支撑表面呈三角面结构。本申请载具可适用于金属工件的全制程工艺，降低成本，提升效率。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

20220222

✅ 授权

Z向感应防呆机构以及加工装置

当前第 / 件

一种龙门刨床自动上下料装置

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