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著 录 项 目:
专利/申请号: | CN202010424391.5 | 专利名称: | 一种应用于脉冲激光共沉积的靶托及安装方法 |
申请日: | 2020-05-19 | 申请/专利权人 | 河南大学 |
专利类型: | 发明 | 地址: | 河南省开封市顺河区明伦街85号 |
专利状态: | 已下证 查询审查信息 | 分类号: | C23C14/28分类检索 激光 安装方法专利转让搜索 |
公开/公告日: | 2021-04-09 | 转让价格: | 面议 【平台担保交易】 |
公开/公告号: | CN111519144B | 交易状态: | 等待洽谈 搜索相似专利 |
摘 要:本发明提供了一种应用于脉冲激光共沉积的靶托及其安装方法,包含靶材托底和靶材盖板,靶材托底周围设有凸起的周垣、中间设有圆形凹槽,周垣上设置有多个螺孔,所述靶托与靶材配合设置,靶材包括可被独立拆装的圆形靶材模块和圆环形靶材模块,圆形靶材模块和圆环形靶材模块的侧壁上设有贯通孔,贯通孔内设有贯通柱;所述靶材盖板上还具有两个相对设置的调节区,贯通柱的两端部置于调节区内。本发明的靶托能够在安装靶材的过早中设置并固定靶材的位置,有效的控制靶材的被轰击位置。提高整个靶材的利用率,避免靶材局部损耗而出现的凹坑,减缓靶材的报废速度。
交易方 | 企业 | 个人 |
买家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(签字) |
专利转让委托书(需盖公章)一式两份 | 专利转让委托书(需签字)一式两份 | |
专利转让协议(需盖公章)一式两份 | 专利转让协议(需签字)一式两份 | |
卖家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(需申请人签字) |
解除代理委托书(需盖公章)一式两份(如专利通过代理机构申请) | 解除代理委托书(需签字)一式两份(如专利通过代理机构申请) | |
专利转让协议(需盖公章)一式两份 | 专利转让协议(需签字)一式两份 | |
专利请求书或手续合格通知书、授权通知书复印件 | 专利请求书或手续合格通知书、专利授权通知书复印件 | |
专利证原件(若授权下证) | 专利证原件(若授权下证) |
日期 | 法律信息 | 备注 |