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摘 要:本实用新型公开了一种垂直扫描测量白光干涉测头,包括白光显微干涉装置、垂直运动装置、双光栅位移计量装置、图像采集系统、信号处理系统和计算机控制系统;白光显微干涉装置包括照明光路、显微干涉组件和CCD图像拾取组件,垂直运动装置包括垂直运动组件,其内平台带动Mirau干涉显微镜对被测工件进行垂直扫描,同时内平台带动双光栅位移计量装置的动光栅移动,经静光栅发生二次衍射并产生干涉条纹,光电接收器接受干涉条纹,经信号处理电路处理后得到垂直运动组件的内平台实时位移。计算机处理系统通过处理垂直扫描过程中的白光干涉图像和垂直运动组件的内平台的位移,可得到被测表面的三维形貌。本实用新型具有结构紧凑、测量精度高等特点。
著 录 项:
专利/申请号: | CN201720263953.6 | 专利名称: | 一种垂直扫描测量白光干涉测头 |
申请日: | 2017-03-17 | 申请/专利权人 | 洛阳理工学院 |
专利类型: | 实用新型 | 地址: | 河南省洛阳市高新区丰华路8号银昆科技园1号楼 |
专利状态: | 已下证 查询审查信息 | 关键词: | 扫描仪 相似专利 |
公开/公告日: | 2017-10-13 | 转让价格: | 面议 |
公开/公告号: | CN206556610U | 交易状态: | 等待洽谈 |
交易方 | 企业 | 个人 |
买家 | 营业执照副本复印件(最新年检需盖公章)与组织机构代码副本复印件(需盖公章)一个专利各一份 | 身份证复印件(签字) |
专利转让委托书(需盖公章)一式两份 | 专利转让委托书(需签字)一式两份 | |
专利协议(需盖公章)一式两份 | 专利协议(需签字)一式两份 | |
卖家 | 营业执照副本复印件(最新年检需盖公章)组织机构代码副本复印件(需盖公章)一个专利各一份 | 身份证复印件(需申请人签字) |
解除代理委托书(需盖公章)一式两份(如专利通过代理机构申请) | 解除代理委托书(需签字)一式两份(如专利通过代理机构申请) | |
专利协议(需盖公章)一式两份 | 专利协议(需签字)一式两份 | |
专利受理通知书复印件或专利授权通知书复印件 | 专利受理通知书复印件或专利授权通知书复印件 | |
专利证原件(若授权未下证) | 专利证原件(若授权未下证) |
日期 | 法律信息 | 备注 |