本发明涉及一种引入深沟槽和自偏置PMOS的SOI‑LIGBT器件,属于半导体器件技术领域。该器件包括阴极P+区、阴极P‑well区、阴极N+区、漂移区、P‑buried区、阳极N‑buffer区、阳极P+区、主栅氧化层、多晶硅主栅、深沟槽氧化层、深沟槽氧化层、多晶硅辅助栅、二氧化硅埋氧层、衬底。该器件在阴极集成自偏置PMOS,在关断中提供过剩载流子的抽取通道提高该类器件在运用过程中的工作频率,并且在器件正向导通的时候降低饱和电流,增大器件的短路安全工作时间,提高了器件的可靠性和安全性;并且阴极集成的PMOS不需要额外的电路来控制,增加了该器件在实际运用过程中的可行性,降低了驱动电路的设计难度。
📄 2024116534411
📂 H10D86_00
👤 重庆邮电大学
📅 2024-11-19