专利交易市场

本发明涉及减反射薄膜技术领域，具体公开了一种新型仿生减反射薄膜结构，包括底座，所述底座顶部设有减反射结构，所述减反射结构由单元微结构阵列构成，所述单元微结构包括主凸结构、环状结构，所述主凸结构位于所述环状结构的中心位置，所述主凸结构底部和环状结构底部均设置在所述底座顶部，所述主凸结构与所述环状结构之间存在间隙。本发明的新型仿生减反射薄膜结构，在光波接触结构的时候在整体结构表面、内部以及环形结构和主凸结构间隙形成较好的渐变光学层，抵御了菲涅尔反射，更好的降低反射率。利用聚二甲基硅氧烷较低的虚部折射率以及结构的亚微米光学特性，新型仿生减反射薄膜结构在3~8um中波波段平均反射率在0.5%以下，减反射效果显著。

本发明公开了一种宽光谱抗反射增透结构及其制备工艺及光栅。本发明的宽光谱抗反射增透结构中包括：衬底，还包括设置于所述衬底至少一侧表面的若干锥状抗反射结构，锥状抗反射结构的底部横向尺寸为20～150nm，分布密度为3～20根/um2，若干锥状抗反射结构在不同高度范围内的数量百分比分布为：100nm以下:0％～5％，100nm～150nm:50％～60％，150nm～200nm:25％～35％，200nm～260nm:10％～20％。本发明产品在更宽的波长范围内具有更优异的抗反射性能。