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本发明公开了一种频谱扫描测量装置及时域波形获取方法，利用相位可重复信号源作为扫频本振，通过软件控制该本振进行扫描时间间隔已知的频率粗扫描；然后对粗扫描所得中频信号进行快速傅里叶变换，实现频谱细分；接下来分别对信号测量值的幅度和相位进行恢复和校准，幅度的恢复可以在直接利用标准信号来进行标定并通过标定值来进行校准；相位的恢复则需要首先恢复扫频架构非实时测量造成的相位偏移，其次需要消除LO的相位影响，最后利用梳状波发射器和多重正弦波对整个系统的相位进行校准；在频域完成信号幅度和相位的恢复后，将所有的谱分量进行矢量叠加即可获取被测信号的时域波形。

本发明请求保护一种多合一的光电子器件频率响应测试装置及方法。本发明由激光器、移频外差干涉模块、待测光电探测器和频谱分析模块组成，其中，移频外差干涉模块由待测电光调制器与移频器组成，且分别放置于干涉模块的马赫‑曾德上、下臂中，激光器、移频外差干涉模块和待测光电探测器依次光连接，微波信号源与待测电光调制器的输入电极端为电连接，待测光电探测器输出端与频谱分析模块为电连接；设置微波信号源在相同工作频率下的两次不同输出电压驱动的情况下，通过频谱分析模块，获得对应成分的功率比值，通过两次不同驱动下功率比值的比，实现对待测电光调制器的频率响应测试，进而反算出待测光电探测器频率响应，最终实现频率响应自校准测试。