本发明提供了一种利用行波磁场强制驱动粘附气泡的方法,属于晶体生长技术领域,旨在为利用行波磁场去除晶体生长过程中的气泡提供指导,所述方法包括:根据行波磁场发生线圈、熔体以及晶体生长炉的炉壁的结构参数,构建气泡运动模型;在气泡运动模型的炉壁的垂直壁面和倾斜壁面设置气体入口,并通过气泡运动模型模拟行波磁场产生的洛伦兹力驱动所述气泡运动的过程;向气体入口通入气体形成不同的气泡,并不断调节行波磁场发生线圈中通入的电流的电流强度,直至气泡发生定向滑移运动;根据多个气泡对应的临界电流强度,获取行波磁场产生的洛伦兹力对每个接触角的气泡的运动的控制规律;根据控制规律,利用行波磁场产生的洛伦兹力强制驱动熔体中的气泡运动。
📄 202410279223X
📂 C30B30_04
👤 西安交通大学
📅 2024-03-12
本发明公开了一种适用于磷化铟单晶生长的外加行波磁场控制方法,在磷化铟单晶生长炉的金属炉壁外侧施加行波磁场,根据炉壁参数调整磁场频率,使得磷化铟熔体中的洛伦兹力大小达到最大值范围,所述炉壁参数包括炉壁的材质、厚度、内部结构是实心或中空,通过在金属炉壁外侧布置平行的若干组线圈、线圈上有序通入正弦交流电产生行波磁场。本发明在考虑磷化铟单晶生长炉金属炉壁电磁屏蔽作用的情况下,根据炉壁材料、厚度与内部结构参数调整磁场频率,使得磷化铟熔体中的洛伦兹力达到最大值范围,能够充分发挥行波磁场的电磁搅拌作用,从而高效地控制熔体流动、温度分布与结晶界面形状,以利于生长高品质磷化铟单晶。
📄 2022115594543
📂 C30B30_04
👤 西安交通大学
📅 2022-12-06