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本发明公开了一种透光微机电超声换能器及其制备方法，涉及超声换能器领域，方法主要包括在透光基底上沉积公共底电极；在公共底电极上旋涂光敏聚合物并曝光显影，形成具有空腔结构和支撑结构的光敏聚合物透光基底晶圆；使用键合机，利用晶圆黏附层键合技术，将光敏聚合物透光基底晶圆与正反面均沉积有低应力氮化硅薄膜的硅晶圆键合固化，得到键合固化晶圆；使用干湿刻蚀方法去除位于键合固化晶圆外表面的低应力氮化硅薄膜及硅晶圆，保留位于键合固化晶圆内部的低应力氮化硅薄膜，并在保留的薄膜上沉积公共顶电极和金属层，以使得到的金属导线贯穿公共顶电极。本发明具有可透光、不会阻挡光路的优点，同时具备较大的相对带宽。

本实用新型公开了一种便于安装的超声波发生器，包括安装架，所述安装架顶部的左右两侧均开设有滑槽，所述滑槽的顶部安装有安装组件，所述安装组件的顶部安装有超声波发生器本体，所述安装架正表面的顶部焊接有挡板，所述挡板顶部的前后两侧均固定贯穿镶嵌有风扇，所述挡板的顶部且位于风扇的外部安装有防尘壳。本实用新型通过安装板、固定架、后板、限位板、安装槽、紧固螺栓、滑块、容纳槽、弹簧一、弹簧二、压板和螺纹孔的配合使用，具备方便安装的优点，解决了现有的超声波发生器安装步骤较为繁琐，在安装过程中需要通过多个螺栓将其固定，非常麻烦，同时，不方便将其快速取下，实用性较差的问题。

本实用新型公开了一种超声波发生器，包括超声波发生器主体，超声波发生器主体前端上下两侧分别安装有显示屏、控制按键，超声波发生器主体前端且位于显示屏右侧安装有开关；超声波发生器主体前端外侧固定有挡框，挡框前端上部左右两侧均固定有磁块一，挡框前端下侧活动连接有盖板，盖板背面左右两侧均固定有磁块二，磁块一与磁块二相吸。可以将盖板盖在超声波发生器主体前方，这样能避免误碰控制按键的情况出现，而且通过设置盒体，盒体内部设置滑板，滑板侧面前后两侧分别设置条形散热孔和圆形散热孔，可以前后滑动滑板，来使条形散热孔或圆形散热孔与透气窗口对应，这样可以切换使用条形散热孔或圆形散热孔进行散热，从而操作较为方便。

本发明具体涉及一种基于导电液晶弹性体的自振动体系及其控制方法，该自振动体系包括柔性导线、质量球、电压源、触发导线、连接导线、动态激活装置和刚性管，柔性导线包括液晶弹性体和电阻丝，电阻丝设置于双层液晶弹性体内部，且电阻丝之间存在一定间距，电压源通过连接导线与电阻丝连接，柔性导线的一端与上部固定端连接，另一端与质量球连接，触发导线通过质量球上的贯穿孔与电阻丝连接，刚性管固定于质量球上且套设在触发导线的外侧，动态激活装置设置在质量球的下方。本发明自振动体系可以实现持续性、周期性的运动过程，可用于构建动态电路系统、实现驱动器与控制器一体化以及电路自动化等，具有广泛的应用前景。

本发明一种输出能量分布均匀的多频超声振动系统，属于超声系统领域：包括：多频超声电源、多频换能器和计算工作站；所述多频超声电源产生并输出频率可调整的多频电信号；多频换能器接收多频超声电源传送的多频电信号，并将多频电信号转换为相应频率的机械振动信号，进行残余应力去除；计算工作站根据得到的多频换能器的工作频率，及对应工作频率下的标定超声振幅，计算多频换能器各工作频率的初始相位差、占空比和激振时间配比，实现多频换能器输出的超声振动在被去除残余应力的工件中传播时能量分布均匀，并传送给多频超声电源；本系统实现超声振动在被去除残余应力的工件中传播时能量分布均匀，可将工件中残余应力去除完全，缩短去除时间。

本发明涉及超声清洗机技术领域，具体涉及一种可变压可变频超声清洗机发生器及控制方法；可变压可变频超声清洗机发生器包括整流电路、BUCK变换电路和H桥逆变电路；BUCK变换电路和整流电路连接；H桥逆变电路和BUCK变换电路连接；BUCK变换电路和逆变电路H桥为串联结构，分别设计有独立的控制信号，通过对BUCK变换电路和H桥逆变电路进行控制，输出超声换能器所需的高频振荡信号的正脉冲和负脉冲，使用嵌入式控制器等，结合换能器的谐振频率要求，编写控制程序，交替输出脉冲控制信号，H桥逆变电路即可输出与超声清洗机换能器谐振频率相对应的高频振荡电信号，本申请能够根据需要对超声发生器输出信号的幅值和频率进行调节。