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本实用新型公开了沉积炉技术领域的一种具有压差控制机构的高温双室真空沉积炉，包括加热室，所述加热室的内部固定安装有反应室，所述加热室和反应室之间固定安装有加热器，本实用新型通过预储罐的设置，能够将混合后的气体通过进气泵添加到其中，并且通过开合组件的控制，使预储罐中的混合气体进入到反应室中，当反应室内部气压产生变化的时候，气压过高时，可将多余的气体输送到回收罐中，气压过低时，回收罐中的气体会再次回流到反应室中，从而使反应室内部的气压始终保持最佳的反应状态，并且在气压变动的时候，输送的气体仍然为最开始的混合气体，因此不会使气体的性质发生改变，从而不会对反应造成影响。