MEMS微镜 - 专利交易市场|柿子坊知识产权运营平台

实用新型已授权

本实用新型公开了一种应用于激光雷达的MEMS微镜系统，包括发生器和接收器，所述发生器和接收器的前端设置有MEMS微镜封装模组；所述MEMS微镜封装模组包括MEMS微镜装置，MEMS微镜装置的前端设置有棱镜转接件；所述MEMS微镜装置经棱镜转接件连接有由第一块三角棱镜和第二三角棱镜胶合而成的光路改变体，其中棱镜转接件与第一三角棱镜的直角面连接，第一三角棱镜的斜面与第二三角棱镜的斜面相胶合。本实用新型将MEMS微镜装置与光路改变体封装为一体化模组的方式，可实现近似垂直于MEMS微镜镜面法线方向的全反射光路，实现了MEMS微镜系统的小型化和集成化。

📄 2023218975710 📂 G01S7_481 👤 上海科恒特科技有限公司 📅 2023-07-19

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一种自主激励静电式大直径MEMS微镜驱动器

实用新型已授权

本实用新型公开了一种自主激励静电式大直径MEMS微镜驱动器，包括相连接的自激振荡电路(1)和高压放大滤波电路(2)；所述自激振荡电路(1)包括正反馈电路(3)，正反馈电路(3)的输出端依次连接有选频网路(4)和同向比例放大电路(5)；所述高压放大滤波电路(2)包括与同向比例放大电路(5)相连接的高压放大电路(6)，高压放大电路(6)的输出端连接有高压滤波电路(7)；本实用新型的驱动信号通过自激方式产生，无需处理器控制即可产生控制信号直接对MEMS微镜进行驱动，使得MEMS微镜的结构精简。

📄 2023208097071 📂 G02B26_08 👤 上海枢光科技有限公司 📅 2023-04-13

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