专利名称:一种太阳能硅片清洗机
申请号:2017108726458
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法律状态:已下证
类型:发明
关键词:太阳能光伏电池硅片生产 太阳能光伏硅片 硅片清洗机
相似专利
发布日:2025/09/04
应用场景:光伏组件生产线中的硅片清洗工序;去除切割残留物及金属杂质;提升电池片转换效率;规模化清洁能源生产设备配套
专利名称:一种切割平稳的硅片剥离清洗机
申请号:2017108727060
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法律状态:已下证
类型:发明
关键词:硅片清洗机 半导体硅片制片 芯片 集成电路硅片剥离清洗机
相似专利
发布日:2025/09/04
应用场景:集成电路晶圆生产中的背面减薄工艺;光伏电池片表面残留去除;化合物半导体衬底清洁处理;先进封装环节的基板预处理
专利名称:一种自动滤尘的硅片清洗机
申请号:2024211381932
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法律状态:已下证
类型:实用新型
关键词:半导体 硅片清洗机
相似专利
发布日:2025/04/01
摘要: 本实用新型涉及技术领域,尤其是一种自动滤尘的硅片清洗机,包括多个清洗水槽、封闭机壳和操作平台;所述清洗水槽包括内置清洗池和滤水器;所述滤水器位于内置清洗池底部,包括出水管、过滤筒和出水管;内置清洗池底部设有出水口,出水口与出水管固定连接;出水口与出水管之间设有过滤罩网;所述过滤筒内部设有过滤芯,过滤筒进水侧设有固定板,过滤筒出水侧设有过滤网;所述过滤芯为圆柱体,过滤芯外表面设有密封橡胶圈;出水管向上延伸至置清洗池顶部然后弯折,与内置清洗池侧边的入水口相连;该装置结构简单,在高压水泵的作用下使得清理液流经过滤筒后重新进入水槽内,实现化学清理液的循环利用。
专利名称:一种硅片清洗机上料装置
申请号:2023224723473
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法律状态:已下证
类型:实用新型
关键词:半导体 硅片清洗机
相似专利
发布日:2025/09/04
应用场景:集成电路生产线前道工序的晶圆清洗环节;光伏产业硅基板预处理流程;半导体代工厂批量化清洁生产场景