本发明属于场发射冷阴极领域,提供了一种柔性透明场发射冷阴极的制备方法,其主要特征是在耐高温透明柔性基底上,基于超薄多孔氧化铝(AAO)模板以及真空物理沉积技术,实现在柔性及透光性良好的基底上的场发射冷阴极材料的制备。该制备方法主要包括4部分,(1)在柔性透明基底上沉积导电透明金膜;(2)在沉积金膜的基底上附着AAO模板;(3)利用真空物理沉积技术制备得spindt型金属阵列;(4)去除AAO模板。本发明的柔性透明场发射冷阴极制备方法简单、成本低、可进行大面积制备,在柔性平板显示器等领域中有广泛的应用前景。
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📂 H01J9_02
👤 杭州电子科技大学
📅 2020-12-29