垂直外腔面发射激光器 - 专利交易市场|柿子坊知识产权运营平台

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本发明公开了一种避免磁场干扰的VECSEL激光器芯片封装结构及方法。本发明在下绝缘层上布置测温线圈、加热线圈、供电正电极引脚和负电极引脚；上绝缘层覆盖测温线圈和加热线圈，上绝缘层上布置有供电负电极。测温线圈为具有开口的圆环形，加热线圈为双涡旋曲线形，加热线圈位于测温线圈内。首先在基底上沉积下绝缘层，然后在下绝缘层上加工出测温线圈及引脚、加热线圈及引脚、供电正电极引脚，再在测温线圈和加热线圈上沉积上绝缘层，最后同时加工供电负电极及引脚。本发明利用交错的双涡旋曲线的加热线圈结构，可以减少加热线圈所占的面积，同时可以避免加热、测温电流产生磁场对器件引入的磁场干扰。

📄 2019113570576 📂 H01S5_024 👤 浙江工业大学 📅 2019-12-25

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