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本发明属于准分子放电光源辅助设计技术领域，提出了一种准分子放电光源的设计方法及系统,包括：获取准分子灯的三维模型；将三维模型导入热应力分析软件，以三维模型作为待分析模型；对待分析模型划分热应力网格获取灯具内部的散热鳍片区域热应力分布图；将热应力分布图灰度化，依次计算散热鳍片区域的热变性适度值；依次遍历各个散热鳍片区域，得到待分析模型的最大热变性适度值；将待分析模型中的各个热变性适度值小于最大热变性适度值的散热鳍片的区域的厚度进行调整，使所有散热鳍片的区域的热变性适度值大于等于最大热变性适度值。根据本发明实施例的设计方法，可以降低温漂，提升准分子灯的光电转换效率。