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  • 专利名称:一种新型真空用旋转门阀      申请号:2018114195234     转让价格:面议  收藏
    法律状态:授权未缴费   类型:发明   关键词:真空镀膜生产 生产线封闭门阀   相似专利 发布日:2025/05/15  
    摘要: 本发明公开了一种新型真空用旋转门阀,它涉及门阀技术领域,包括门阀,门阀通过上安装轴承座和下安装轴承座按在在腔室进出口处,上气缸通过上齿条、上齿轮和联轴器与门阀传动连接,下气缸通过下齿条、下齿轮和下联轴器与门阀传动连接,腔室上下部分别设置有上齿轮限位部件和下齿轮限位部件,门阀上的门阀轴上设置有门阀轴限位装置,阀板通过连接套、钩头键安装在门阀轴上。本发明密封可靠,动作灵敏,确保基片快速通过立式镀膜线的进口和出口,提高了整个真空镀膜生产线效率。
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